系统构成

镜筒

弹夹式的灯丝座很容易更换灯丝，稳定的高压电源设计保证了高质量图像

   运用双磁物镜透镜（Dual Slit lens）减少了球差，并且保证了高分辨率

   E-T bar型二次电子探测器提高了检测效率

   通过改变探测器上的法拉第盒电压可进行二次电子/背散射电子（SE/BSE）模式转换

   较强的电子束流保证能谱仪很高的检测精度

载物台

5 轴 (X，Y，Z，倾斜，旋转) 控制， 机械同心轴倾斜平台

  -30°至90°优化设计的倾斜角度适用于各种截面观察

  载物台移动范围广并且空间大，方便装载多个样品

电子枪

优化了电磁场极间距，平整了电子束的均匀度

  可移动孔径光阑方便电子束对中

腔室

具有二次电子探测器、能谱仪、背散射电子探测器、波谱仪等可扩展端口

    特殊样品的样品室可定制

真空

标准：旋转机械泵+扩散泵

    可选：旋转机械泵+涡轮分子泵

    手动及自动操作

  自动真空保护