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电子光学系统
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分辨率
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3.5nm
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放大倍数
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10
~ 300,000x
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电子束扫描模式
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搜索,观察,照相(3步)
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加速电压
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0.5Kv
~ 30Kv
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电子枪类型
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钨灯丝
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聚光镜
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二级电磁透镜
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物镜
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一级电磁透镜
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光阑孔径
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5
档(200 µ 100 µ 80 µ 50
µ 30 µ)
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消像散
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8极电磁场型自动消像散
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探测器
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Bar型二次电子探测器
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图像位移
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4极电磁场型
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聚焦控制
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自动聚焦
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真空系统
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真空控制类型
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全自动真空系统
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低真空
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旋转机械泵
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高真空
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旋转机械泵+扩散泵
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旋转机械泵+涡轮分子泵(可选)
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腔室真空度
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(750
~ 1x10-4Torr)
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镜筒真空度
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(750
~ 1x10-6Torr)
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显示模式
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CRT
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PC
显示器
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帧内存、扫描速度
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搜索
(320×240):
12 幅/秒
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观察（640×480）：2.5 幅/秒
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照相（1280×960）：4 幅/分
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亮度、反差调节
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自动，复原功能
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可选部件
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EDS能谱仪
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Yes
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图像输出
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喷墨打印机/数字打印机
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背散射电子图像探测器
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Yes
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载物台
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用户可定制
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载物台系统
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移动范围(X,Y,Zmm)
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60
/ 70 / 60
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移动速度
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10mm
/ sec
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倾斜
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-30
° ~ 90 °
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旋转
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360
°
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电动
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五轴控制，
其中X、Y、R为电动，PC
控制
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